隨著第三代半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,碳化硅(SiC)等材料的制造對高溫、高純度材料的需求不斷增加。我公司推出的半導(dǎo)體用石墨紙及石墨箔,專為滿足半導(dǎo)體制造中的高溫、隔熱、密封等需求而設(shè)計(jì),具有的導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性和化學(xué)穩(wěn)定性;
產(chǎn)品特性
超高純度:石墨紙和石墨箔采用高純石墨材料,純度高,雜質(zhì)含量極低,確保在高溫環(huán)境下不污染半導(dǎo)體材料。
的導(dǎo)熱性:石墨紙和石墨箔具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性能,能夠快速傳導(dǎo)熱量,確保工藝過程的性和穩(wěn)定性。
耐高溫性:可在高達(dá)3000°C的高溫環(huán)境下使用,適用于惰性氣體或真空環(huán)境。
柔性與可定制性:石墨紙和石墨箔具有類似紙張的柔軟性和可塑性,可根據(jù)客戶需求定制各種尺寸和形狀。
化學(xué)穩(wěn)定性:在高溫和高真空環(huán)境下表現(xiàn)出色的抗腐蝕性和抗氧化性。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、物相沉積(PVD)、離子注入等工藝中的隔熱材料、柔性層和密封材料。
晶體生長:作為保溫筒、隔熱材料和反射層,確保晶體生長過程的穩(wěn)定性。
高溫設(shè)備:適用于高溫爐、熱場系統(tǒng)中的隔熱和密封部件。
產(chǎn)品優(yōu)勢
SIGRAFLEX? 石墨箔:由天然膨脹石墨制成,不含粘合劑,純度,適用于超高純度要求的半導(dǎo)體工藝。
SIGRATHERM? 石墨軟氈和硬氈:提供優(yōu)異的保溫性能,可用于熱場保溫和隔熱部件。
定制化服務(wù):根據(jù)客戶的具體需求,提供從設(shè)計(jì)到加工的一站式定制服務(wù)。
公司優(yōu)勢
專業(yè)經(jīng)驗(yàn):多年專注于半導(dǎo)體用石墨材料的研發(fā)和生產(chǎn),積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。
技術(shù)支持:提供專業(yè)的技術(shù)咨詢,幫助客戶優(yōu)化工藝,提升生產(chǎn)效率。
質(zhì)量保證:嚴(yán)格的質(zhì)量檢測流程,確保每一件產(chǎn)品都符合國際標(biāo)準(zhǔn)。
