回收后的廢舊靶材進(jìn)入預(yù)處理階段。首先進(jìn)行嚴(yán)格的分類與鑒別，依據(jù)其成分、鍍層殘留情況、基底材料（常為金屬或陶瓷）進(jìn)行分選。隨后通過機(jī)械破碎、研磨等物理方法，將大塊靶材分解為粒度較小的顆粒，增大后續(xù)化學(xué)處理的反應(yīng)接觸面積。此階段可能涉及物理分選技術(shù)，如利用密度或磁性差異初步分離部分雜質(zhì)。
ITO廢舊靶材的上門回收及后續(xù)處理，是一項(xiàng)融合了物流管理、材料分選、濕法冶金和金屬精煉的系統(tǒng)性工程技術(shù)。其核心價(jià)值在于通過工業(yè)化的化學(xué)與物理手段，將廢棄物品中的特定稀有元素——銦，、清潔地轉(zhuǎn)化為可再次投入生產(chǎn)的工業(yè)原料。這一過程體現(xiàn)了資源循環(huán)理念在電子信息材料領(lǐng)域的具體應(yīng)用，其發(fā)展水平與推廣程度，是衡量相關(guān)產(chǎn)業(yè)資源效率和環(huán)境績效的一個(gè)重要指標(biāo)。未來，隨著回收技術(shù)的持續(xù)優(yōu)化與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的加強(qiáng)，此類資源循環(huán)體系有望在更廣泛的電子廢棄物處理中發(fā)揮示范作用。
二、現(xiàn)場(chǎng)快速篩查技術(shù)（適用于初步分類與估價(jià)）
在回收一線作業(yè)中，為提率、實(shí)現(xiàn)分級(jí)管理，可采用以下便攜式工具進(jìn)行初篩：
?XRF便攜式熒光光譜儀?
可在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)塊狀、粉末狀I(lǐng)TO廢料進(jìn)行非破壞性檢測(cè)，檢出限≤50 ppm，能在數(shù)十秒內(nèi)給出銦的大致含量，是目前最常用的現(xiàn)場(chǎng)初篩工具。但需注意，XRF對(duì)薄膜類樣品（如鍍膜玻璃）測(cè)量誤差較大，建議結(jié)合取樣分析。
?分級(jí)分類輔助判斷?
根據(jù)廢料來源和物理形態(tài)，可初步預(yù)估銦含量：
廢舊ITO靶材殘塊：銦含量通常在70%以上，優(yōu)質(zhì)殘靶可達(dá)85%~90%
靶材邊角料與次品：含量接近原材，約85%–90%
濺射粉塵或靶灰：因氧化和污染，含量可能降至50%以下，需謹(jǐn)慎評(píng)估
從物質(zhì)循環(huán)的視角審視，ITO靶材的回收本質(zhì)上是一個(gè)將使用后或加工后的固體物料，重新納入工業(yè)生產(chǎn)鏈條的過程。這一過程并非簡單的“變廢為寶”，而是需要解決一系列技術(shù)難題：如何分離靶材中的銦、錫與其他基材或雜質(zhì)；如何在回收過程中保持金屬，特別是銦的高回收率與純度；以及如何控制回收工藝自身的環(huán)境足跡。
