公司名：深圳捷微洛克科技有限公司
地址：深圳市寶安區(qū)松崗街沙浦社區(qū)廣進路24號
聯(lián)系人：段總
手機號：13380377051
郵箱：info@
網(wǎng)址：
全自動和半自動GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜
技術(shù)參數(shù)
型號JW-200-GC規(guī)格單瓶/雙瓶專用氣柜尺寸雙瓶: W800*D633*H2172 , 單瓶: W600*D661*H2104控制柜電源控制電源: 220VAC, 50HZ, 500W, 加熱電源: 220VAC, 50HZ, 1-6KW吹掃PN2,1/4”MVCR高壓保持HPN2,1/4”MVCR真空GN2.1/4” MVCR排氣1/2” MVCR氣動氣源CDA driver, 1/4″ SWG氣柜通風(fēng)口外徑150MM，硅烷810m3/小時；其他204m3/小時標(biāo)準(zhǔn)配置自動切換、自動吹掃、防爆、防泄漏柜體、防爆自鎖門、防爆玻璃觀察窗、泄漏報警、遠程斷電、負壓報警操作界面10英寸彩色觸摸屏
可選
*紫外/紅外火焰探測器
*氣缸關(guān)閉裝置
*面板加熱裝置
*以太網(wǎng)通訊模塊
*CGA Guarder 保護裝置
*過流開關(guān)
*氣缸控制
*稱重秤
*氣缸加熱裝置
特氣柜是一種用于供應(yīng)和管理特種氣體的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、LED等新興產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險性的氣體，如硅烷（SiH4）等。
在CVD（化學(xué)氣相沉積）等生產(chǎn)過程中，特氣柜發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠滿足生產(chǎn)過程中對氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求，確保生產(chǎn)正常進行和員工人身。特氣柜內(nèi)部PLC程式設(shè)計的聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，使得氣體在傳送過程中經(jīng)過多次自動吹掃，避免被氣體雜質(zhì)污染，保證氣體原材料的純度。
此外，特氣柜還具有報警偵測警報功能，在緊急情況下會自動切斷，保障生產(chǎn)和人員。全自動特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，柜門關(guān)閉時，氣瓶柜內(nèi)部處于負壓狀態(tài)，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H，從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運行。
