ITO靶材回收流程
1. 收集廢靶材：收集來源：面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業。
2. 表面處理/預處理 ：清洗表面雜質、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離：機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收：用酸（如硝酸、鹽酸等）溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細化學手段，獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途
ITO靶材主流回收技術
機械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。
濕法化學回收：利用酸堿進行溶解分離，適合大批量廢靶材。
熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。
銦在半導體、液晶顯示器等電子器件的生產中發揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積（PVD）工藝中，制造薄膜。然而，銦靶材的成本高昂，且供應有限，因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關重要。
銦靶材回收的主要任務是將銦從靶材中的其他金屬和材料中分離出來，并將其提純至高純度。回收方法包括火法、濕法和電化學法。
火法冶金工藝使用高溫熔煉和精煉來回收銦。這種方法適用于大規模回收，但存在一些缺點，如產生危險廢物、高能耗，以及可能損失有價值的銦。
濕法冶金工藝利用化學浸出劑將銦從靶材中溶解出來。這種方法比火法更環保，適用于從成分復雜的靶材中回收銦。然而，這一過程可能較為復雜，需要使用危險化學品。
電化學過程通過電流將銦從靶材中溶解和回收。這種方法也比火法更環保，可以回收較高純度的銦。但這一過程可能較為復雜，需要專門的設備和專業知識。