主流回收工藝分類
當前ITO靶材回收主要圍繞銦元素提取展開，主要分為物理法、化學法和聯合工藝三類：
熔煉過濾法（物理法）
通過高溫熔煉結合篩網過濾實現銦與其他金屬的分離。具體流程包括：
廢銦塊在625℃熔煉爐中熔化，利用鐵/不銹鋼篩網（30-40目）截留固態雜質鐵、鋁。
熔融銦通過重力滴落收集，殘留物可二次熔煉提升回收率至72%。
該方法具有設備簡單（圖1）、周期短（單次處理≤60分鐘）的優勢，適用于含銦量70%-90%的廢靶材。但需控溫（±5℃），否則雜質金屬可能熔化導致純度下降至95%以下。
ITO廢料來源與回收技術
ITO廢料來源于生產廢料、終端廢料及工業副產物，為回收提供了豐富資源。ITO廢料來源于多個方面。首先，在ITO靶材的生產過程中，會產生切削碎屑和鍍膜后的廢靶材，這些屬于生產廢料。其次，隨著電子產品的更新換代，廢棄的LCD面板、智能手機屏幕以及光伏薄膜等電子垃圾也逐漸增多，這些被稱為終端廢料。此外，金屬冶煉過程中也會產生含銦煙塵或廢渣，這屬于工業副產物。這些不同來源的ITO廢料，為銦的回收利用提供了豐富的資源。
ITO靶材，即銦錫氧化物靶材，主要由氧化銦（In?O?）和氧化錫（SnO?）組成，其中氧化銦占比高達90%。ITO靶材因其優異的導電性和高透光性，成為液晶顯示器（LCD）、觸摸屏及太陽能電池等光電設備的理想材料。其晶體結構穩定，電導率高，確保了設備的運行。
ITO靶材回收流程
ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據其種類、純度等進行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續處理。
3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。
4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產品。
5. 再加工：將提純后的金屬產品加工成新的靶材或其他產品，實現資源的循環利用。
