常用的廢水的深度處理有以下幾種方法：超濾法、離子交換法,反滲透法。
超濾是采用中空纖維，對廢水進行過濾，其出水懸浮物可基本為0，但對離子態的重金屬基本無處理能力。
離子交換則是采用陰、陽樹脂置換出廢水中離子態的重金屬，它可以通過增加陰、陽離子交換柱的數目來調整出水中的重金屬離子濃度。但它如果運行在含鹽量較高的環境下，樹脂極易失效，而且再生周期短。故離子交換工藝運用在廢水回用工程相對于其它工藝來說工藝比較復雜，存在樹脂再生成本高，再生頻繁，出水水質不穩定等缺點。
反滲透是采用高壓廢水通過半透膜，克服滲透壓使水分子透過半透膜，從而達到鹽、水分離的目的。
中水回用水處理設備功能：
1、膜生物反應器全過程采用自動控制系統，大大減少了運行管理費用。
2、當生物反應器內水到達高水位時，提升泵停止運行，當水位降至低水位時提升泵自動開啟。
3、根據中水貯水池水位自動開啟、關閉循環泵。
4、自動開啟、關閉加藥泵，加藥量可根據需要調整。
5、自動運行膜清洗、程序。
6、電機設有過流、過載保護。