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        蘇州ito靶材廢料回收高純錫銦合金的方法與流程

        2026-06-04 12:36   5271次瀏覽
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        一種從ito靶材廢料回收高純錫銦合金的方法

        技術(shù)領(lǐng)域

        1.本發(fā)明屬于ito粉生產(chǎn)領(lǐng)域,具體涉及一種從ito靶材廢料回收高純錫銦合金的方法。

        背景技術(shù):

        2.隨著電子信息技術(shù)的迅速發(fā)展,液晶顯示屏被廣泛應(yīng)用,作為生產(chǎn)氧化銦錫薄膜的原材料ito靶材的消耗量也在顯著增大。生產(chǎn)ito薄膜過程中對ito靶材的利用率較低,約70%的ito靶材成為廢料需要回收。ito靶材的成份一般為質(zhì)量比9:1的氧化銦與氧化錫,廢靶中的金屬銦含量約為74.40%,金屬錫的含量約為7.88%。銦和錫金屬都屬貴重金屬,銦在地殼中的含量為1

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        10-5%,且較為分散,至今為止沒有發(fā)現(xiàn)過富礦。雖然確定有5種獨立礦種如硫銦銅礦(cuins2)、硫銦鐵礦(feins4)、水銦礦[in(oh)3]等,但這些礦物在自然界也很少見,銦主要呈類質(zhì)同象存在于鐵閃鋅礦(銦的含量為0.0001%~0.1%)、赤鐵礦、方鉛礦以及其他多金屬硫化物礦石中。此外錫礦石、黑鎢礦、普通角閃石中也含有銦。因此銦被歸類為稀有金屬。全球預(yù)估銦儲量僅5萬噸,其中可開采的占50%。錫作為世界上的稀有金屬之一,在地殼中的含量為0.004%,全球錫儲量約480萬噸,基礎(chǔ)儲量約為1100萬噸。因此,實現(xiàn)廢靶中金屬銦錫的綠色回收,是ito行業(yè)發(fā)展的重大技術(shù)需求,同時也是對保護(hù)和合理利用金屬資源有著極其重要的意義。現(xiàn)行的從ito廢靶中回收銦錫,我們查到有專利文獻(xiàn)cn200780039782.8公開了一種通過將ito廢料進(jìn)行電解來回收銦-錫合金的方法。該方法使用硫酸、鹽酸、堿作為電解液,并在其中添加硫酸銨、氯化鈉、硫酸鈉等作為電解質(zhì),ito作為陽極、碳等耐腐蝕電極作為陰極母板,電解溫度控制在20~50℃,電流密度優(yōu)選根據(jù)原料的種類適當(dāng)調(diào)節(jié)的條件進(jìn)行電解。該方法電解時間長,并且銦錫合金的回收率僅為75%。

        技術(shù)實現(xiàn)要素:

        3.本發(fā)明的目的是解決上述技術(shù)問題,提供一種可提高銦錫合金回收率、且產(chǎn)品純度高的從ito靶材廢料回收高純錫銦合金的方法。

        4.為實現(xiàn)上述的目的,本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種從ito靶材廢料回收高純錫銦合金的方法,是以ito靶材廢料作為陽極板,其步驟包括:(1)溶解:將所述陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以硫酸溶液為電解液,進(jìn)行次微電流電解,得到銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分,放入到懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到高純銦錫合金。

        5.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述陽極板和陰極板的長度之比為(1.4-1.6):1,寬度之比為(1.4-1.6):1。

        6.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述陽極板的長寬厚依次為19.80cm~20.20cm、13.80cm~14.20cm、0.90cm~1.10cm;所述陰極板的長寬厚依次為12.38cm~14.42cm、8.63cm~10.15cm、0.20cm~0.30cm。

        7.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述次微電流電解的電流密度為40a/m2~50a/m2,溫度為20~60℃,電解時間為120~180min。

        8.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述第二次微電流電解的電流密度為51a/m2~70a/m2,溫度為20~60℃,電解時間為100~150min。

        9.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述到懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,是將所述第二電解槽底部沉淀物置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入高純ar的懸浮設(shè)備中,抽真空,加熱升溫至熔融狀態(tài),再提高溫度2500~3000℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。

        10.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述真空度≥0.08mpa。

        11.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述ito靶材廢料采用丙酮進(jìn)行超聲波清洗后粉碎,再壓制為陽極板。

        12.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述干燥的溫度為100~110℃,時間為30~60min。

        13.作為進(jìn)一步的技術(shù)方案,以上所述硫酸溶液的濃度為800g/l。

        14.與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果為:1、本發(fā)明的大尺寸陽極板和小尺寸陰極板,加上微小電流,形成微弱的非均勻電場,在此非均勻電場下,ito靶材廢料中的銦錫首先迅速溶解到電解液中,形成純凈的銦錫溶液,再以銦錫溶液作為電解液進(jìn)行二次微電流電解,由于電場不均勻,銦錫合金不會漂移至陰極沉積,而是迅速下沉到電解槽的底部,避免陰陽極短路;在此方法下,本發(fā)明的銦錫合金回收率提高至80%以上。

        15.2、本發(fā)明采用懸浮提純,其原理是提高銦錫粗合金的熔煉溫度,使氧、氮、氫與銦錫粗合金的飽和蒸汽壓與溫度關(guān)系曲線差距增大,從而使銦錫粗合金與氧、氮、氫分離,得到n含量≤0.001%、h含量≤0.001%、o含量≤0.001%高純錫銦合金。

        具體實施方式

        16.下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的描述,但本發(fā)明的實施方式并不局限于實施例表示的范圍。

        17.本實施例選用ito靶材廢料來源于廣西某銦錫靶材廠,其成分檢測如表1:表1化學(xué)成分insnnoh含量/%74.407.810.00517.700.005將ito靶材廢料用丙酮進(jìn)行清洗,擦凈丙酮,再用超聲波在純水介質(zhì)中清洗30min,放入到顎式破碎機(jī)破碎成小于 5 毫米的料塊,然后壓制成為陽極板,每塊陽極板限定為2kg。

        18.實施例1、實施例2和實施例3是采用的陽極板和陰極板的尺寸是:陽極板的長寬厚依次為19.80cm、13.80cm、0.90cm;陰極板的長寬厚依次為12.38cm、8.63cm、0.20cm。

        19.實施例4和實施例5是采用的陽極板和陰極板的尺寸是:陽極板的長寬厚依次為

        20.20cm、14.20cm、1.10cm;陰極板的長寬厚依次為14.42cm、10.15cm、0.30cm。

        20.實施例1:(1)溶解:將陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以800g/l硫酸為電解液,進(jìn)行次微電流電解,次微電流電解的電流密度為40a/m2,溫度為20℃,電解時間為120min,取電解槽內(nèi)的銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解,第二次微電流電解的電流密度為50a/m2,溫度為20,電解時間為100min;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入半小時的高純ar懸浮設(shè)備中,再進(jìn)行抽真空,真空度為-0.08mpa,加熱升溫至沉淀物熔融,再提高溫度2500℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到1.35kg的高純銦錫合金,回收率為81.82%。

        21.實施例2:(1)溶解:將陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以800g/l硫酸為電解液,進(jìn)行次微電流電解,次微電流電解的電流密度為45a/m2,溫度為40℃,電解時間為160min,取電解槽內(nèi)的銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解,第二次微電流電解的電流密度為60a/m2,溫度為40℃,電解時間為130min;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入半小時的高純ar懸浮設(shè)備中,再進(jìn)行抽真空,真空度為-0.08mpa,加熱升溫至沉淀物熔融,再提高溫度2500℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到1.37kg的高純銦錫合金,回收率為83.03%。

        22.實施例3:(1)溶解:將陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以800g/l硫酸為電解液,進(jìn)行次微電流電解,次微電流電解的電流密度為50a/m2,溫度為60℃,電解時間為180min,取電解槽內(nèi)的銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解,第二次微電流電解的電流密度為70a/m2,溫度為60℃,電解時間為150min;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入半小時的高純ar懸浮設(shè)備中,再進(jìn)行抽真空,真空度為-0.08mpa,加熱升溫至沉淀物熔融,再提高溫度2500℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到1.38kg的高純銦錫合金,回收率為83.63%。

        23.實施例4:(1)溶解:將陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以800g/l硫酸為電解液,進(jìn)行

        次微電流電解,次微電流電解的電流密度為42a/m2,溫度為30℃,電解時間為130min,取電解槽內(nèi)的銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解,第二次微電流電解的電流密度為55a/m2,溫度為30,電解時間為100min;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入半小時的高純ar懸浮設(shè)備中,再進(jìn)行抽真空,真空度為-0.08mpa,加熱升溫至沉淀物熔融,再提高溫度2500℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到1.36kg的高純銦錫合金,回收率為82.71%。

        24.實施例5:(1)溶解:將陽極板和鈦陰極板置于電解槽中,以800g/l硫酸為電解液,進(jìn)行次微電流電解,次微電流電解的電流密度為48a/m2,溫度為40℃,電解時間為170min,取電解槽內(nèi)的銦錫溶液;(2)一次提純:將所述陽極板和鈦陰極板置于第二電解槽中,以所述銦錫溶液作為電解液,進(jìn)行第二次微電流電解,第二次微電流電解的電流密度為65a/m2,溫度為50℃,電解時間為130min;(3)二次提純:將第二電解槽底部的銦錫合金沉淀物濾去水分置于石墨坩堝中,然后放入預(yù)先通入半小時的高純ar懸浮設(shè)備中,再進(jìn)行抽真空,真空度為-0.08mpa,加熱升溫至沉淀物熔融,再提高溫度2500℃,保溫1小時,保溫結(jié)束后,再通入高純ar保護(hù)的條件下,冷卻物料至室溫。懸浮設(shè)備中真空高溫熔煉,得到1.39kg的高純銦錫合金,回收率為84.54%。

        25.實施例1-5的高純銦錫合金檢測結(jié)果如表2所示:表2由表2可以看出,實施例1-5制備的高純銦錫合金,其n、o、h含量均低于0.001%,其它雜質(zhì)含量均≤0.0020%。

        26.接著本發(fā)明采用實施例1的步驟(1)和(2)進(jìn)行回收率對比實驗。

        27.(一)采用相同大小的陰陽極板(不含側(cè)面)進(jìn)行微電流電解,即陽極板的長寬厚依次為19.80cm、13.80cm、0.90cm,重量2kg;陰極板的長寬厚依次為19.80cm、13.80cm、0.25cm。微電流電解參數(shù)同實施例1,終在第二電解槽得到1.22kg 的銦錫合金沉淀物。;

        (二

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