產品簡介
OWT-200采用PHYS獨有技術，對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整
度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高精度測量的性價比在同類測試儀器中是無可比擬的。
特征
無接觸無損傷測量
高度及重復性
測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
抗干擾強，穩定性好
強大的工控機控制和大屏幕顯示
一體化設計操作更方便，系統穩定
為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量
超高測試速度
技術指標
測試尺寸：50mm-200mm.
厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
厚度測試精度：+/-0.1um
厚度重復性精度：0.050um
TTV 測試精度: +/-0.1um
TTV重復性精度: 0.01um
Warp/Bow精度: 0.2um
Warp/Bow重復度: 0.5um
測量時間: 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料
尺寸: 560X650X400mm
電源：220V 50HZ 300W
主要客戶：歐洲、美洲、臺灣等地區藍寶石生產企業
詳情歡迎來電咨詢：
北京合能陽光新能源技術有限公司
北京市通州區工業開發區光華路16號
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