母合金摻雜劑
摻雜，又稱配料，摻雜的目的主要是用來改變硅熔體中施主雜質(zhì)（如磷）或受主雜質(zhì)（如硼）的雜質(zhì)濃度，使其生長出的單晶電阻率達(dá)到規(guī)定的要求。所謂“母合金”就是雜質(zhì)元素與硅的合金。本公司提供以下多種類型母合金：
形狀
塊狀
片狀
棒狀
摻雜類型
硼
磷
型號
P型
N型
電阻率
0.001-0.006 Ω.CM
確保每段電阻率偏差在0.001或0.0005范圍內(nèi)
濃度
硼含量(atom/cm3)=1.1732E20～1.6184E19
磷含量(atom/cm3)=7.3763E19～9.6552E18
碳含量(atom/cm3)<5E16
氧含量(atom/cm3)<1E18
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